펨토초 레이저 조사 실리콘 카바이드의 광발광
실리콘 카바이드(SiC)는 선도적인 와이드 밴드갭 반도체 소재로, 성숙한 도핑 및 소자 제작 기술을 제공합니다. 또한, SiC는 다양한 광학 활성 점결함(컬러 센터)을 포함하며 양자 기술의 여러 응용 분야에 중요합니다. SiC 플랫폼의 잠재력을 최대한 활용하기 위한 핵심 단계는 정의된 위치와 밀도를 가진 컬러 센터를 생성하는 기술을 포함하며, 이는 나노 포토닉 구조와의 결합을 용이하게 하고 협력적 효과를 관찰하는 데 필수적입니다. 본 연구에서는 불순물 원자가 필요 없고 고온 어닐링 단계를 피할 수 있는 실리콘 공공 센터와 이중 공…