알루미나 ALD 전구체 설계 원리
원자층 증착(ALD)에서 전구체 흡착은 증착 특성을 결정하는 핵심 요소이며, 특히 비성장 표면(NGS) 흡착이 선택성 손실로 이어지는 영역 선택적 ALD(AS-ALD)에서 중요합니다. 전구체의 루이스 산도, 입체 반발, 이합체화 경향은 NGS 흡착에 큰 영향을 미치며, 이는 실험적 선택성을 좌우하는 주요 매개변수입니다. 본 연구는 확장 시스템용 에너지 분해 분석(pEDA)을 활용하여 일반적인 알루미늄 전구체들이 소분자 억제제(SMI)인 트리메톡시프로필실란(TMPS)이 있는 SiO2 NGS 표면에 흡착되는 에너지학을 정량적으로 평가했…