Au 나노입자가 ZnO 에탄올 센서에 미치는 습도 증진 효과
1차원 금속 산화물 반도체 기반 가스 센서 개발에서 습도가 센서 성능에 미치는 부정적 영향을 완화하는 것은 중요한 과제입니다. 본 연구는 금(Au) 나노입자가 1차원 ZnO 나노구조의 에탄올 감응도에 미치는 습도 증진 효과를 탐구했습니다. 전도성 화학 센서 제작을 위해 Au 촉매 성장 동역학을 활용한 열 증발-응축법으로 ZnO 나노와이어를 성장시켰습니다. 이후 스퍼터링을 통해 Au 나노입자를 ZnO 나노구조에 2~10초간 추가 증착했습니다. 구조 분석 결과, 10~70 nm 직경의 Au 나노입자가 0.1~1 μm 길이와 10~30…