단결정 다이아몬드 캔틸레버의 NV 중심 활용 동적 굽힘 응력 감지
본 연구는 매립된 흑연 희생층 공정을 이용해 단결정 다이아몬드(SCD) MEMS 캔틸레버를 제작했습니다. 이온 주입으로 형성된 결함층 근처의 질소-공극(NV) 중심 영역을 직접 응력 감지 영역으로 활용하여 외부 나노다이아몬드 없이 동적 응력 감지를 가능하게 했습니다. 캔틸레버 진동으로 유도된 응력과 광학적으로 검출된 자기 공명(ODMR) 스펙트럼의 형광 강도 피크 변화 사이의 관계를 조사했습니다. 정적 자기장을 네 개의 NV 중심 결정축 중 하나에 정렬하여 피크 변화의 응력 의존성을 평가했습니다. 연구 결과, 피크 변화가 수직 …