탄화규소 나노결함 양자 잡음 분광
반도체 소자의 성능은 나노스케일 전하 환경에 의해 크게 좌우되지만, 기존 특성 분석 기술은 나노스케일 전하 불균일성을 해결하고 미시적 잡음원을 식별하는 데 공간 분해능이 부족했습니다. 본 연구에서는 상용 탄화규소 내 개별 PL5 색 중심을 상온 광대역(준직류~기가헤르츠) 양자 분광기로 활용하여 이 한계를 극복했습니다. 광학적으로 검출된 자기 공명(ODMR)을 이용한 무작위 텔레그래프 잡음 모니터링을 통해 4H-SiC에서 단일 전하 터널링 동역학을 실시간으로 나노스케일에서 관찰했습니다. 이 기술은 웨이퍼마다 뚜렷한 잡음 변화를 보여…